• 高導熱性、低膨脹系數(shù) 
• 良好的平面度
• 高剛度，更優(yōu)異的耐磨性
• 輕量化設計
• 高純度，無金屬離子污染
• 可根據(jù)用戶需求進行結(jié)構(gòu)定制
   

• 庫倫型吸盤或梯度力吸盤
• 支持雙電極、多電極、叉指電極等設計
• 適用于10^-5Pa及以下超高真空環(huán)境
• 靜電吸附力大
• 吸附面全局面型精度高
• 吸附面表面圖形可定制
• 適用于無磁環(huán)境
• 吸附對象包括晶圓，藍寶石、玻璃等介電材料 

• 提供大小相等、相位相反的兩相電壓
• 提供穿刺電壓，可以對晶圓進行刺穿
• 提供電容檢測，用來指示無晶圓、晶圓吸附、釋放狀態(tài)
• 提供穿刺檢測，用來指示穿刺是否成功
• LCD顯示，可以顯示吸附和穿刺電壓以及電阻、電容檢測值

• 超高折彎壽命
• 更多線纜種類，靈活的組合方式
• 高集成度，更小的折彎半徑
• 高潔凈度，運動無顆粒
• 無起訂量相紙

無塵護套拖鏈主要特性

• 千萬次往復耐磨表皮
• 能達百級無塵效果，有效保護電纜，減少電纜掉粉
• 應用場景廣泛
• 可定制不同POD寬度，滿足客戶定制化要求

• 饋通件可選CF、KF、 ISO標準法蘭或定制；
• 光纖與饋通件通過膠粘劑實現(xiàn)密封，光纖無斷點，保證 光性能最優(yōu)，可選單通或多通；
• 適用單模 、 多模 、保偏光纖等多種光纖；
• 組件可選單通或多通；
• 腔內(nèi)材料適用真空條件 ，光纖護套材料可選不銹鋼304 、PTFE；
• 適用于10^-5Pa及以下（超）高真空環(huán)境