微步式驅(qū)動原理實(shí)現(xiàn)納米級精度和高驅(qū)動力
陶瓷微步電機(jī)是一種新型仿生式壓電執(zhí)行器，通過多組多維度壓電執(zhí)行器單元按照步進(jìn)式的多組動作邏輯進(jìn)行驅(qū)動，實(shí)現(xiàn)對電機(jī)動子的直線驅(qū)動。其主要特點(diǎn)是體積小、驅(qū)動力大；在靜態(tài)下可以保持高夾持力，且無熱功耗；可以將單步實(shí)現(xiàn)高細(xì)分，實(shí)現(xiàn)納米級高分辨率；步進(jìn)式運(yùn)動方式，可以實(shí)現(xiàn)毫米級大運(yùn)動行程。
選配增量式光柵尺實(shí)現(xiàn)高精度定位
非接觸式光柵尺可以直接檢測運(yùn)動臺面的位移，最大程度避免了間接位移檢測帶來的位置誤差。
適合復(fù)雜真空環(huán)境應(yīng)用
陶瓷微步電機(jī)可選配真空版本。電機(jī)靜態(tài)下無熱功耗，不產(chǎn)生磁場。
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單位 |
公差 |
PMNL-C05-10N |
PMNL-C10-10N |
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運(yùn)動軸 |
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X |
X |
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運(yùn)動和定位 |
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運(yùn)動行程 |
mm |
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10 |
10 |
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模擬量模式下行程 |
μm |
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±2 |
±2 |
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傳感器 |
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- |
- |
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開環(huán)分辨率 |
nm |
典型值 |
1 |
1 |
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閉環(huán)分辨率 |
nm |
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- |
- |
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速度 |
mm/s |
最大值 |
1 |
1 |
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最大驅(qū)動頻率 |
Hz |
±20% |
250 |
250 |
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機(jī)械特性 |
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驅(qū)動力 |
N |
最大值 |
50 |
100 |
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保持力 |
N |
最小值 |
70 |
130 |
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驅(qū)動特性 |
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工作電壓 |
V |
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-250~+250 |
-250~+250 |
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其他 |
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工作溫度范圍 |
°C |
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0~55 |
0~55 |
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材料 |
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鋁，不銹鋼，鈦 |
鋁，不銹鋼，鈦 |
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質(zhì)量 |
g |
±5% |
115 |
160 |
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電纜長度 |
m |
±0.05m |
2 |
2 |
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電機(jī)接口 |
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Sub-D15 公頭 |
Sub-D15 公頭 |
