靜電吸盤(ESC)是半導(dǎo)體工藝中的硅片夾持工具。ESC以靜電吸附為基本原理在施加外部高壓后,通過靜電吸盤對硅片的庫侖吸附力或J-R吸附力來固定硅片的。
通用外形尺寸，單位:mm
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單位 |
6inch ESC |
8inch ESC |
12inch ESC |
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原理類型 |
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庫倫型或梯度力 | 庫倫型或梯度力 | 庫倫型或梯度力 |
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電極數(shù)量 |
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雙電極 |
雙電極 |
雙電極 |
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精度 |
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全局平面度 |
μm |
＜1 |
＜1 |
＜2 |
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平行度 |
μm |
＜5 |
＜5 |
＜5 |
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電氣性能 |
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標(biāo)準(zhǔn)吸附電壓 |
V |
1000 |
1000 |
1000 |
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漏電流 |
nA |
＜5 |
＜5 |
＜5 |
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性能參數(shù) |
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吸附力 |
N |
≥10（庫倫型） |
≥16（庫倫型） |
≥40（庫倫型） |
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外觀尺寸 |
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直徑 |
mm |
144 |
194 |
294 |
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厚度 |
mm |
12.6 |
12.6 |
12.6 |
*電極數(shù)量、平面度指標(biāo)、外形尺寸和相關(guān)結(jié)構(gòu)均可定制化設(shè)計(jì)
