X/Y軸
Z軸
T軸
復(fù)合式多軸精密位移臺是二維機(jī)械導(dǎo)軌+空氣軸承復(fù)合式運(yùn)動平臺，可以讓客戶有效地享用機(jī)械導(dǎo)軌與空氣軸承導(dǎo)軌各自的優(yōu)點。機(jī)械導(dǎo)軌在XY平面的高剛性能承受較大加速度和提供高雙向重復(fù)精度，而空氣軸承確保全行程優(yōu)異的動態(tài)平面度。
該平臺采用模塊化、正交性等設(shè)計理念，包含隱冠的MZT模塊和復(fù)合式XY臺模塊。MZT模塊集成在復(fù)合式XY臺模塊之上，能實現(xiàn)X、Y、Z和T 軸4自由度的高精度、高剛度直線和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動。
MZT模塊的垂向采用了獨特的大行程磁浮重力補(bǔ)償技術(shù)，降低了垂向電機(jī)的載荷，很大程度地提高了垂向運(yùn)動性能和壽命。
復(fù)合式XY臺模塊采用驅(qū)動質(zhì)心匹配、柔性龍門以及輕量化設(shè)計技術(shù)，具有降低對高精度機(jī)械導(dǎo)軌的偏質(zhì)心沖擊，提高運(yùn)動系統(tǒng)的可靠性和壽命的能力，并具有對輕微平移Y1及Y2電機(jī)進(jìn)行偏向修正功能。
該平臺也可集成在隱冠的主動減振系統(tǒng)模塊之上，進(jìn)一步提高系統(tǒng)性能。
*接口尺寸數(shù)據(jù)來源于HS1000
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技術(shù)指標(biāo) |
單位 |
HS1000-00 |
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軸 |
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X |
Y1/Y2 |
Z |
T |
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行程 |
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320 mm |
550 mm |
10 mm |
360°,Infinite |
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最大速度 |
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1.2 m/s |
1.2 m/s |
0.1 m/s |
900°/s |
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加速度 |
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12 m/s² |
12 m/s² |
2 m/s² |
6280°/s² |
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精度_校準(zhǔn)前 |
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±10 μm |
±10 μm |
NA |
±30 arcsec |
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精度_校準(zhǔn)后 |
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±1 μm |
±1 μm |
±0.6 μm |
±3 arcsec |
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雙向重復(fù)精度 |
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±0.4 μm |
±0.4 μm |
±0.3μm/2 |
±2 arcsec |
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位置穩(wěn)定性（3σ） |
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±25 nm* |
±25 nm* |
±15 nm* |
±0.2 arcsec |
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直線度 |
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±2 μm over range |
±1.5μm over range |
2μm |
NA |
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軸向跳動 |
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NA |
NA |
NA |
±1.5μm |
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徑向跳動 |
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NA |
NA |
NA |
±1.5μm |
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機(jī)械特征 |
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驅(qū)動負(fù)載 （無負(fù)載） |
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15 Kg |
30 Kg |
5.5 Kg |
NA |
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最大負(fù)載 |
Kg |
2（可定制） |
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平臺質(zhì)量 |
Kg |
666 |
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外觀尺寸 |
mm×mm×mm |
1040×1050×405.3（Chuck吸附面到大理石157.8mm） |
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*測試數(shù)據(jù)來源于采用8μm pitch光柵尺的測試。
在HS1000-00 產(chǎn)品序列里，配置了可根據(jù)用戶實際應(yīng)用選擇的可選項?？蛇x內(nèi)容包括主動減振器、編碼器、控制系統(tǒng)等選項。
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表 1編碼器選項 |
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-S1 |
增量式模擬光學(xué)式線性編碼器，1Vpp,20μm Pitch |
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-S2 |
增量式數(shù)字光學(xué)式線性編碼器，TTL,20μm Pitch |
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-S3 |
絕對式光學(xué)式線性編碼器，BISS,20μm Pitch |
