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上海隱冠半導(dǎo)體技術(shù)有限公司

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壓電驅(qū)動(dòng)線夾
壓電驅(qū)動(dòng)線夾
壓電驅(qū)動(dòng)線夾
性能簡(jiǎn)介

(圖片來(lái)源自網(wǎng)絡(luò))

 

1、客戶需求和痛點(diǎn)是什么?
隨著科技的日益發(fā)展,當(dāng)前芯片功能不斷增強(qiáng),單個(gè)芯片上的引線數(shù)量越來(lái)越多并要求引線鍵合的速度越來(lái)越快,這就要求線夾的響應(yīng)速度更快(<1ms)、整體尺寸和運(yùn)動(dòng)慣性更小;同時(shí)使得引線直徑越來(lái)越小,因而對(duì)線夾輸出位移和夾持力的精確控制提出了更高的要求。

線夾的基本性能參數(shù)列表如下:

引線鍵合機(jī)線夾基本性能要求

夾爪張口量

固有頻率

響應(yīng)速度

整體長(zhǎng)度

>80μm

>600Hz

<1ms

<100mm

一般而言,引線鍵合機(jī)線夾由一對(duì)用來(lái)夾住金線的夾爪和一個(gè)提供驅(qū)動(dòng)位移和力的驅(qū)動(dòng)器組成。由于驅(qū)動(dòng)方式直接決定線夾的結(jié)構(gòu)尺寸及性能,進(jìn)而決定了材料和加工工藝類型的選擇,因此驅(qū)動(dòng)方式是線夾設(shè)計(jì)的關(guān)鍵。線夾的驅(qū)動(dòng)類型可分為:電磁閥驅(qū)動(dòng)、音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng)、超磁致伸縮驅(qū)動(dòng)、壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)、壓電雙晶片驅(qū)動(dòng)、直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)等。

不同驅(qū)動(dòng)源線夾比較:

<<<左滑查看更多參數(shù)

驅(qū)動(dòng)源

優(yōu)點(diǎn)

缺點(diǎn)

電磁閥

控制方便、驅(qū)動(dòng)位移大、成本低廉

容易發(fā)熱、響應(yīng)慢、銜鐵振動(dòng)影響精度

音圈電機(jī)

高頻響、高精度、制造工藝成熟

響應(yīng)慢、慣性大

壓電陶瓷

響應(yīng)速度快、分辨率高、控制方便、體積小、成本低廉、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單

驅(qū)動(dòng)電壓高、位移小

 

壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的線夾優(yōu)勢(shì):

1、驅(qū)動(dòng)簡(jiǎn)單、裝配方便。與電磁閥驅(qū)動(dòng)、音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng)相比,壓電驅(qū)動(dòng)的線夾零部件少,裝配簡(jiǎn)單,電壓控制線夾位置,電路簡(jiǎn)單,無(wú)需復(fù)雜的控制電路系統(tǒng);

2、響應(yīng)快,相對(duì)于電磁閥驅(qū)動(dòng),壓電驅(qū)動(dòng)響應(yīng)速度較快,可以達(dá)到亞毫秒級(jí)別;

3、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單小巧且驅(qū)動(dòng)力大、控制方便。與電磁閥驅(qū)動(dòng)、音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng)、相比,壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器體積小、慣性小,更適合應(yīng)用于精密儀器場(chǎng)合。

4、工藝成熟,適合批量生產(chǎn),成本較低,使得該系列產(chǎn)品在精密儀器和半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)應(yīng)用廣泛;

(壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)線夾結(jié)構(gòu)圖,圖片來(lái)源自網(wǎng)絡(luò))

 

壓電陶瓷具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、能量密度大、響應(yīng)快、分辨率高等優(yōu)點(diǎn),但壓電元件逆壓電效應(yīng)所產(chǎn)生的變形量很小,一般為自身長(zhǎng)度的0.1%,通常采用機(jī)械放大機(jī)構(gòu)對(duì)壓電輸出位移進(jìn)行放大。微位移放大機(jī)構(gòu)多采用柔性鉸鏈連接,因?yàn)槿嵝糟q鏈體積小、無(wú)機(jī)械摩擦、自動(dòng)彈性復(fù)位、無(wú)間隙,適合用于實(shí)現(xiàn)小范圍偏轉(zhuǎn)的鉸接點(diǎn)。

通過(guò)控制壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電壓的大小可以有效調(diào)節(jié)線夾的輸出位移。然而隨著壓電驅(qū)動(dòng)頻率的增高,線夾放大器的響應(yīng)速度逐漸匹配不上壓電陶瓷的致動(dòng)速度,將直接導(dǎo)致線夾不能正常完成夾線和送線動(dòng)作。線夾正常工作時(shí)應(yīng)同時(shí)具備以下二個(gè)條件,即夾爪的開(kāi)啟或關(guān)閉動(dòng)作必須快且穩(wěn)定,殘余振動(dòng)不明顯,即線夾能快速精準(zhǔn)的完成夾線送線動(dòng)作;放大器的動(dòng)態(tài)響應(yīng)速度應(yīng)該能較好的匹配壓電驅(qū)動(dòng)器的致動(dòng)速度,以便于對(duì)線夾的工作周期進(jìn)行有效控制。

2、我們的解決方案可以解決什么問(wèn)題?
隱冠可提供疊堆型壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的線夾和適配的驅(qū)控,應(yīng)用于芯片制作中引線鍵合工序,壓電線夾可以高頻響應(yīng),保證線夾的快速的夾持和釋放。隱冠自研自產(chǎn)的疊堆型壓電陶瓷可以在較低電壓下產(chǎn)生較大的驅(qū)動(dòng)位移;搭配的自研自產(chǎn)的驅(qū)控采用功率放大電路將鋸齒波信號(hào)放大,以此驅(qū)動(dòng)壓電陶瓷,減少所需的驅(qū)動(dòng)電壓。

3、我們的解決方案創(chuàng)新點(diǎn)是什么?
 我們可以根據(jù)客戶的使用需求,滿足客戶驅(qū)動(dòng)頻率要求設(shè)計(jì)壓電線夾的本征頻率,滿足客戶對(duì)壓電線夾要求驅(qū)動(dòng)頻率高且穩(wěn)定的要求,減小線夾余震。

4、技術(shù)實(shí)施路徑是怎樣的?
  通過(guò)客戶要求,精選位移放大器設(shè)計(jì)及致動(dòng)器選擇,對(duì)整體結(jié)構(gòu)仿真設(shè)計(jì),達(dá)到客戶性能要求。

5、可以給客戶帶來(lái)什么收益?
疊堆型壓電陶瓷致動(dòng)器采用壓電陶瓷片堆疊的結(jié)構(gòu)形式,在電信號(hào)激勵(lì)下實(shí)現(xiàn)多層陶瓷響應(yīng)位移的疊加輸出,最大位移超過(guò)100μm。

公司具有豐富的產(chǎn)品規(guī)格以匹配不同的線夾規(guī)格。公司針對(duì)客戶特定需求和具體應(yīng)用場(chǎng)景,集成應(yīng)變片實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制,并配置自研適配的驅(qū)控器,滿足高電壓的需求,同時(shí)實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品組合的技術(shù)和成本優(yōu)勢(shì)。

公司在國(guó)內(nèi)擁有上海、蘇州、廣州、成都四個(gè)服務(wù)中心,可快速響應(yīng)全國(guó)客戶的技術(shù)升級(jí)&更新更換、項(xiàng)目開(kāi)發(fā)、維修維護(hù)等需求。

目前公司壓電陶瓷已實(shí)現(xiàn)批量化生產(chǎn),線夾產(chǎn)品已進(jìn)行小規(guī)模試生產(chǎn)且已送樣至客戶進(jìn)行驗(yàn)證。

 

(最新行業(yè)技術(shù)數(shù)據(jù)來(lái)自于網(wǎng)站等其他公開(kāi)信息來(lái)源)

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