自動光學(xué)檢測（AOI）運動系統(tǒng)
隨著半導(dǎo)體行業(yè)的飛速發(fā)展，半導(dǎo)體的生產(chǎn)工藝越來越復(fù)雜，尤其是5nm工藝的逐步成熟完善，3nm工藝不斷突破的情況下，芯片電路單元的尺寸越小，芯片生產(chǎn)過程中就越容易出現(xiàn)各種缺陷。一般來說，根據(jù)電子系統(tǒng)檢測中的“十倍法則”，在基材層面發(fā)現(xiàn)的故障傳導(dǎo)到芯片級別會造成成本十倍的增加，所以缺陷檢測系統(tǒng)在半導(dǎo)體行業(yè)極其重要。
芯片制造
封裝設(shè)備
量檢測
