PMIN系列慣性電機(jī)是基于粘滑式驅(qū)動邏輯的一種直線運(yùn)動定位裝置，可以達(dá)到毫米級的運(yùn)動行程和納米級的定位精度，具有體積小、剛度高和快速定位等優(yōu)勢，電機(jī)內(nèi)部集成高精度閉環(huán)傳感器，非常適合用于納米微位移控制系統(tǒng)。
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單位 |
公差 |
PMIN-C24-20A |
PMIN-C24-30A-SS |
PMIN-C24-30A-AL |
PMIN-C24-50A-SS |
PMIN-C24-50A-AL |
PMIN-C24-110A |
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運(yùn)動軸 |
|
|
X |
X |
X |
X |
X |
X |
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運(yùn)動和定位 |
||||||||
|
運(yùn)動行程 |
mm |
|
20 |
30 (非對稱) |
30（非對稱） |
50 |
50 |
110 |
|
傳感器 |
|
|
線性光柵尺 |
線性光柵尺 |
線性光柵尺 |
線性光柵尺 |
線性光柵尺 |
線性光柵尺 |
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開環(huán)分辨率 |
nm |
|
1 |
1 |
1 |
1 |
1 |
1 |
|
傳感器分辨率 |
nm |
|
40 |
40 |
40 |
40 |
40 |
40 |
|
傳感器信號 |
|
|
AqB |
AqB |
AqB |
AqB |
AqB |
AqB |
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最小位移 |
nm |
典型值 |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
|
單向重復(fù)精度 |
nm |
典型值 |
500 |
500 |
500 |
500 |
500 |
500 |
|
雙向重復(fù)精度 |
nm |
典型值 |
800 |
1000 |
1000 |
800 |
800 |
800 |
|
俯仰 |
arcsec |
典型值 |
50 |
50 |
50 |
50 |
50 |
50 |
|
偏擺 |
arcsec |
典型值 |
50 |
50 |
50 |
50 |
50 |
50 |
|
閉環(huán)運(yùn)動速度* |
mm/s |
最大值 |
10 |
10 |
10 |
10 |
10 |
10 |
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機(jī)械特性 |
||||||||
|
最大垂向負(fù)載 |
N |
最大值 |
30 |
30 |
30 |
30 |
30 |
30 |
|
導(dǎo)軌類型 |
|
|
交叉滾柱導(dǎo)軌 |
交叉滾柱導(dǎo)軌 |
交叉滾柱導(dǎo)軌 |
交叉滾柱導(dǎo)軌 |
交叉滾柱導(dǎo)軌 |
交叉滾柱導(dǎo)軌 |
|
驅(qū)動力 |
N |
典型值 |
＞1.5 |
＞1.5 |
＞1.2 |
＞1.5 |
＞1.2 |
＞1.0 |
|
保持力 |
N |
最小值 |
＞2.0 |
＞2.0 |
＞2.0 |
＞2.0 |
＞2.0 |
＞1.5 |
|
驅(qū)動特性 |
||||||||
|
工作電壓 |
V |
|
0~70 |
0~70 |
0~70 |
0~70 |
0~70 |
0~70 |
|
其他 |
||||||||
|
工作溫度范圍 |
°C |
|
0~50 |
0~50 |
0~50 |
0~50 |
0~50 |
0~50 |
|
材料 |
|
|
不銹鋼 |
不銹鋼 |
鋁合金，不銹鋼 |
不銹鋼 |
鋁合金，不銹鋼 |
不銹鋼 |
|
電纜長度 |
m |
±0.02m |
2 |
2 |
2 |
2 |
2 |
2 |
|
電機(jī)接口 |
|
|
Sub-D15 公頭 |
Sub-D15 公頭 |
Sub-D15 公頭 |
Sub-D15 公頭 |
Sub-D15 公頭 |
Sub-D15 公頭 |
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外觀尺寸 |
||||||||
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A |
mm |
|
24 |
24 |
24 |
24 |
24 |
24 |
|
B |
mm |
|
11.5 |
11.5 |
11.5 |
11.5 |
11.5 |
11.5 |
|
L |
mm |
|
45 |
45 |
45 |
75 |
75 |
180 |
* 實(shí)際運(yùn)動速度取決于驅(qū)控電路功率
