一體化高柔扁平排線—-主要應(yīng)用，半導(dǎo)體前道晶圓檢測設(shè)備，真空環(huán)境適用的半導(dǎo)體檢查設(shè)備，光刻設(shè)備系統(tǒng)，高精度視覺檢測，醫(yī)療設(shè)備。
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單位 |
數(shù)據(jù) |
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加速度 |
g |
4 |
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最大速度 |
m/s |
2 |
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最小彎曲半徑 |
mm |
40 |
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工作溫度范圍 |
°C |
-40~80 |
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使用壽命 |
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1000萬次以上/> 10 million |
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無塵等級 |
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IPA Clean Class 1 (ISO14644-1) |
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產(chǎn)品認證 |
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UL， IPA |
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最小間距 |
mm |
1 |
