半導(dǎo)體、平板顯示、光纖對準(zhǔn)、生物醫(yī)藥
平面式二維精密位移臺采用了XY一體化、正交性設(shè)計理念，具有超薄的輪廓尺寸，能實現(xiàn)水平向X/Y軸2自由度的高精度、高剛度直線運動。
*接口尺寸數(shù)據(jù)來源于PL90
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技術(shù)指標(biāo) |
單位 |
PL90-100 |
PL90-200 |
PL90-300 |
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行程 |
mm |
±50 |
±100 |
±150 |
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最大速度 |
m/s |
500 |
750 |
1000 |
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加速度 |
g |
1 |
1 |
1 |
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精度 |
μm |
±1.5 |
±2 |
±2.5 |
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雙向重復(fù)精度 |
μm |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
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直線度 |
μm |
±1 |
±1.5 |
±2 |
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平面度 |
μm |
±1 |
±1.5 |
±2 |
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俯仰 |
arcsec |
12 |
15 |
18 |
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橫滾 |
arcsec |
12 |
15 |
18 |
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偏擺 |
arcsec |
6 |
8 |
10 |
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正交性 |
arcsec |
20 |
20 |
20 |
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機械特征 |
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驅(qū)動負載（無負載）_Upper axis |
Kg |
6 |
8.6 |
11.5 |
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驅(qū)動負載（無負載）_Lower axis |
Kg |
15 |
18 |
20 |
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最大負載 |
Kg |
15 |
20 |
25 |
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平臺質(zhì)量 |
Kg |
22 |
26 |
31 |
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外觀尺寸 |
mm×mm×mm |
250×230×60 |
360×340×90 |
430×430×90 |
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平臺材料 |
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航空鋁，黑色陽極氧化 |
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在PL90系列產(chǎn)品序列里，配置了可根據(jù)用戶實際應(yīng)用選擇的可選項。可選內(nèi)容包括行程、編碼器、高精度標(biāo)定等選項。
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表1行程選項 |
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-100 |
100mm行程位移平臺，配置直線電機和限位 |
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-200 |
200mm行程位移平臺，配置直線電機和限位 |
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-300 |
300mm行程位移平臺，配置直線電機和限位 |
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表2編碼器選項 |
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-S1 |
增量式模擬光學(xué)式線性編碼器，1Vpp |
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-S2 |
增量式數(shù)字光學(xué)式線性編碼器，RS422 |
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-S3 |
絕對式光學(xué)式線性編碼器，BISS |
