半導(dǎo)體、平板顯示、光纖對(duì)準(zhǔn)、生物醫(yī)藥等，特別適用于雙面加工或者基因檢測(cè)等領(lǐng)域
中空式平面二維精密位移臺(tái)采用了XY一體化、正交性設(shè)計(jì)思想，具有超薄的輪廓尺寸和大中空的通孔尺寸，能實(shí)現(xiàn)水平向X/Y軸2自由度的高精度、高剛度直線運(yùn)動(dòng)。
*接口尺寸數(shù)據(jù)來(lái)源于PLA90
|
技術(shù)指標(biāo) |
單位 |
PLA90-100 |
PLA90-200 |
PLA90-300 |
|
行程 |
mm |
±50 |
±100 |
±150 |
|
最大速度 |
m/s |
1 |
1 |
1 |
|
加速度 |
g |
1 |
1 |
1 |
|
精度 |
μm |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
|
雙向重復(fù)精度 |
μm |
±0.25 |
±0.25 |
±0.25 |
|
直線度 |
μm |
±2 |
±2 |
±2 |
|
平面度 |
μm |
±2 |
±2 |
±2 |
|
俯仰 |
|
40µrad |
50µrad |
60µrad |
|
橫滾 |
|
30µrad |
40µrad |
50µrad |
|
偏擺 |
|
20µrad |
30µrad |
40µrad |
|
正交性 |
|
97µrad |
97µrad |
97µrad |
|
機(jī)械特征 |
|
|
|
|
|
驅(qū)動(dòng)質(zhì)量_Upper axis |
Kg |
5.8 |
8.4 |
11 |
|
驅(qū)動(dòng)質(zhì)量_Lower axis |
Kg |
14.5 |
17.1 |
19.7 |
|
最大負(fù)載 |
Kg |
15 |
20 |
25 |
|
平臺(tái)質(zhì)量 |
Kg |
21 |
25.5 |
30 |
|
外觀尺寸 |
mm×mm×mm |
380×380×90 | 380×380×90 | 430×430×90 |
|
平臺(tái)材料 |
|
航空鋁，黑色陽(yáng)極氧化 |
|
|
在PLA90系列產(chǎn)品序列里，配置了可根據(jù)用戶實(shí)際應(yīng)用選擇的可選項(xiàng)?？蛇x內(nèi)容包括行程、編碼器、高精度標(biāo)定等選項(xiàng)。
|
表1行程選項(xiàng) |
|
|
-100 |
100mm行程位移平臺(tái)，配置直線電機(jī)和限位 |
|
-200 |
200mm行程位移平臺(tái)，配置直線電機(jī)和限位 |
|
-300 |
300mm行程位移平臺(tái)，配置直線電機(jī)和限位 |
|
表2編碼器選項(xiàng) |
|
|
-S1 |
增量式模擬光學(xué)式線性編碼器，1Vpp |
|
-S2 |
增量式數(shù)字光學(xué)式線性編碼器，RS422 |
|
-S3 |
絕對(duì)式光學(xué)式線性編碼器，BISS |
