平面式精密堆疊位移臺，具有超薄的輪廓尺寸，滿足單軸、多軸使用情況，實現(xiàn)高精度、高剛度水平直線運(yùn)動。
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技術(shù)指標(biāo) |
MTS80-25 |
MTS80-50 |
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行程 |
±25mm |
±50mm |
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最大速度（空載） |
0.5m/s |
0.5m/s |
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加速度（空載） |
0.5g |
0.5g |
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雙向重復(fù)定位精度 |
±0.3µm |
±0.3µm |
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精度（校準(zhǔn)后） |
±0.5µm |
±0.5µm |
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直線度 |
±1µm |
±1µm |
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平面度 |
±1µm |
±1µm |
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俯仰 |
75µrad |
75µrad |
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偏擺 |
50µrad |
50µrad |
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最大負(fù)載 |
4kg |
6kg |
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峰值推力 |
23.8N |
35.7N |
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持續(xù)推力 |
6.0N |
8.9N |
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動子質(zhì)量 |
0.71kg |
1.08kg |
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總質(zhì)量 |
1.49kg |
2.35kg |
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外觀尺寸 |
140mmX95mmX33mm |
210mmX95mmX33mm |
