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上海隱冠半導體技術有限公司

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產(chǎn)品中心詳情頁2
疊堆型壓電陶瓷致動器
疊堆型壓電陶瓷致動器
疊堆型壓電陶瓷致動器
主要特點

  • 驅動電壓 -20 ~ +150V
  • 2 ~ 100μm運動行程    
  • 適用于高真空環(huán)境10?? Pa
  • 亞納米分辨率    
  • 高居里溫度230°C

產(chǎn)品資料下載 使用說明下載
主要應用
  • 科學研究 
  • 精密光學調節(jié)設備 
  • 工業(yè)自動化 
  • 半導體設備 
  • 精密運動控制     
  • 精密檢測設備
性能簡介

疊堆型壓電陶瓷致動器采用壓電陶瓷片堆疊的結構形式,在電信號激勵下實現(xiàn)多層陶瓷響應位移的疊加輸出,具有亞毫秒級的響應時間,最大位移超過100μm。公司具有豐富的產(chǎn)品規(guī)格,且性能參數(shù)能達到國際同類產(chǎn)品公司先進水平,目前已實現(xiàn)批量化生產(chǎn)。

技術參數(shù)
<<<左滑查看更多參數(shù)

 

單位

公差

PAB-S3-5

PAB-S3-9

PAB-S5-5

PAB-S5-9

PAB-S5-20

PAB-S5-36

PAB-S5-45

PAB-S7-9

尺寸

mm×mm×mm

 

3×3×5

3×3×9

5×5×5

5×5×9

5×5×20

5×5×36

5×5×45

7×7×9

位移*

μm

±15%

5

10

5

10

20

40

50

10

阻滯力**

N

最大值

360

360

1000

1000

1000

1000

1000

2000

電容***

μF

±15%

0.14

0.25

0.35

0.68

1.6

2.8

3.8

1.5

諧振頻率

kHz

±15%

250

140

250

140

70

34

27

140

 

 

單位

公差

PAB-S7-20

PAB-S7-36

PAB-S7M-36

PAB-S7-45

PAB-S7-60

PAB-S7-90

PAB-S10-18

PAB-S10-36

尺寸

mm×mm×mm

 

7×7×20

7×7×36

7×7×36

7×7×45

7×7×60

7×7×90

10×10×18

10×10×36

位移*

μm

±15%

20

40

42

50

66

100

20

40

阻滯力**

N

最大值

2000

2000

2000

2000

2000

2000

4000

4000

電容***

μF

±15%

3

6

10

7.8

11.2

16

6

13

諧振頻率

kHz

±15%

70

34

35

27

21

14

70

34

截面尺寸公差為±0.1mm,長度尺寸常規(guī)公差在±0.1mm,特別需求可以定制±10μm
位移尺寸公差范圍在±20%
可選配焊接標準線束,長度75mm,AWG32,PTFE絕緣,產(chǎn)品編號后加W


* 位移測試:驅動電壓0~150V,公差±20%,另PAB-S7M-36驅動電壓0~120V
** 阻滯力測試:在150v驅動電壓下,將陶瓷伸長量壓縮為零的力
*** 電容測試條件:常溫環(huán)境,1Vpp,1kHz,公差±20%
其他規(guī)格可根據(jù)客戶需求進行定制

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