干貨丨混合鍵合(Hybrid Bonding)工藝流程和相關技術總結
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2024-10-30
混合鍵合是一種先進的封裝技術,有助于集成多個半導體元件以創(chuàng)建高密度、高性能的設備。與傳統(tǒng)封裝方法相比,混合鍵合可實現(xiàn)更高的互連密度該工藝對于 3D 集成和異構片上系統(tǒng) (SoC) 應用。 目前設備產業(yè)鏈中的主要參與者以及使用和涉及混合鍵合的主要有,如臺積電、英特爾、三星、SK海力士、美光、長鑫存儲、索尼、豪威科技、長江存儲、西部數(shù)據(jù)、Besi、芝浦東京電子、應用材料、ASM Pacific、EV Group、SU...