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上海隱冠半導體技術有限公司

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產(chǎn)品中心詳情頁2
A5型壓電預壓致動器
A5型壓電預壓致動器
A5型壓電預壓致動器
主要特點

  • 1000N推力
  • 10億次使用壽命的壓電陶瓷
  • 亞納米級分辨率
  • 結構簡單,體積小巧    
  • 適用10??Pa及以下高真空環(huán)境

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主要應用
  • 靜態(tài)和動態(tài)精密定位
  • 光纖定位調節(jié)
  • 激光調諧    
  • 微納技術
性能簡介

預壓致動器是一種壓電陶瓷疊堆的鎧裝設備,起到保護疊堆和方便安裝的作用,同時預壓致動器內(nèi)部對壓電陶瓷施加了預壓力,可提供一定的拉力和對位移輸出的調節(jié)。預壓致動器可內(nèi)部集成應變片實現(xiàn)閉環(huán)控制。

機械尺寸圖

默認輸出端為球頭,可定制其他輸出端結構。

技術參數(shù)
<<<左滑查看更多參數(shù)

 

單位

公差

PAPL-A5-36N

PAPL-A5-45N

PAPL-A5-60N

PAPL-A5-90N

行程@150V*

μm

±20%

40

50

65

100

電容**

μF

±20%

3

3.8

5

7.5

開環(huán)分辨率

nm

典型值

0.36

0.45

0.6

0.9

集成傳感器

 

/

SGS

SGS

SGS

SGS

閉環(huán)分辨率***

nm

典型值

0.72

0.9

1.2

1.8

諧振頻率

kHz

±20%

12

10

7

4

剛度

N/μm

±20%

20

17

12

8

推力****

N

最大值

850

850

850

850

拉力

N

最大值

150

150

150

150

工作電壓

V

/

-20~150

-20~150

-20~150

-20~150

工作溫度范圍

°C

/

-20~80

-20~80

-20~80

-20~80

電壓接口

 

/

LEMO FFA.00.250

傳感器接口

 

/

LEMO FFA.0S.304

線長

m

0.50%

1.5

1.5

1.5

1.5

* 空載下位移輸出
** 電容測試條件:常溫環(huán)境,1Vpp,1kHz
*** 閉環(huán)參數(shù)只適用閉環(huán)版本的壓電預壓致動器
**** 推力測試:驅動電壓0~150V
其他規(guī)格可根據(jù)客戶需求進行定制
定制信息

PAPL系列A5型壓電預壓致動器,開環(huán)版本

型號

說明

PAPL-A5-36N

A5型壓電預壓致動器,有效行程40μm,開環(huán)

PAPL-A5-45N

A5型壓電預壓致動器,有效行程50μm,開環(huán)

PAPL-A5-60N

A5型壓電預壓致動器,有效行程65μm,開環(huán)

PAPL-A5-90N

A5型壓電預壓致動器,有效行程100μm,開環(huán)

 

PAPL系列A5型壓電預壓致動器,應變片閉環(huán)版本

型號

說明

PAPL-A5-36S

A5型壓電預壓致動器,有效行程40μm,應變片閉環(huán)

PAPL-A5-45S

A5型壓電預壓致動器,有效行程50μm,應變片閉環(huán)

PAPL-A5-60S

A5型壓電預壓致動器,有效行程65μm,應變片閉環(huán)

PAPL-A5-90S

A5型壓電預壓致動器,有效行程100μm,應變片閉環(huán)

 

PAPL系列A5型壓電預壓致動器,開環(huán)、真空兼容版本

型號

說明

PAPL-A5-36NU

A5型壓電預壓致動器,有效行程40μm,開環(huán),真空兼容至10??Pa

PAPL-A5-45NU

A5型壓電預壓致動器,有效行程50μm,開環(huán),真空兼容至10??Pa

PAPL-A5-60NU

A5型壓電預壓致動器,有效行程65μm,開環(huán),真空兼容至10??Pa

PAPL-A5-90NU

A5型壓電預壓致動器,有效行程100μm,開環(huán),真空兼容至10??Pa

 

PAPL系列A5型壓電預壓致動器,應變片閉環(huán)、真空兼容版本

型號

說明

PAPL-A5-36SU

A5型壓電預壓致動器,有效行程40μm,應變片閉環(huán),真空兼容至10??Pa

PAPL-A5-45SU

A5型壓電預壓致動器,有效行程50μm,應變片閉環(huán),真空兼容至10??Pa

PAPL-A5-60SU

A5型壓電預壓致動器,有效行程65μm,應變片閉環(huán),真空兼容至10??Pa

PAPL-A5-90SU

A5型壓電預壓致動器,有效行程100μm,應變片閉環(huán),真空兼容至10??Pa

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