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上海隱冠半導體技術有限公司

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產品中心詳情頁2
C5型壓電預壓致動器
C5型壓電預壓致動器
C5型壓電預壓致動器
主要特點

  • 1000N推力
  • 10億次使用壽命的壓電陶瓷
  • 亞納米級分辨率
  • 結構簡單,體積小巧 
  • 適用10??Pa及以下高真空環(huán)境
  • 集成球形端頭

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主要應用
  • 靜態(tài)和動態(tài)精密定位
  • 光纖定位調節(jié)
  • 激光調諧    
  • 微納技術
性能簡介

預壓致動器是一種壓電陶瓷疊堆的鎧裝設備,起到保護疊堆和方便安裝的作用,同時預壓致動器內部對壓電陶瓷施加了預壓力,可提供一定的拉力和對位移輸出的調節(jié)。預壓致動器可內部集成應變片實現(xiàn)閉環(huán)控制。

機械尺寸圖

默認輸出端為球頭,可定制其他輸出端結構。

技術參數(shù)
<<<左滑查看更多參數(shù)

 

單位

公差

PAPL-C5-18N

PAPL-C5-36N

PAPL-C5-54N

PAPL-C5-60N

PAPL-C5-90N

PAPL-C5-108N

行程@150V*

μm

±20%

18

36

54

72

90

108

電容**

μF

±20%

1.5

3

4.5

6

7.5

9

開環(huán)分辨率

nm

典型值

0.18

0.36

0.54

0.72

0.9

1.08

集成傳感器

 

 

SGS

SGS

SGS

SGS

SGS

SGS

閉環(huán)分辨率***

nm

典型值

0.36

0.72

1.08

1.44

1.8

2.16

諧振頻率

kHz

±20%

18

14

10

8.5

7

6

剛度

N/μm

±20%

57

27

19

15

12

10

推力****

N

最大值

1000

1000

1000

1000

1000

1000

拉力

N

最大值

150

150

150

150

150

150

工作電壓

V

 

-20~150

-20~150

-20~150

-20~150

-20~150

-20~150

工作溫度范圍

°C

 

-20~80

-20~80

-20~80

-20~80

-20~80

-20~80

電壓接口

   

LEMO FFA.00.250

傳感器接口

   

LEMO FFA.0S.304

線長

m

±0.02m

1.5

1.5

1.5

1.5

1.5

1.5

* 空載下位移輸出
** 電容測試條件:常溫環(huán)境,1Vpp,1kHz
*** 閉環(huán)參數(shù)只適用閉環(huán)版本的壓電預壓致動器
**** 推力測試:驅動電壓0~150V
其他規(guī)格可根據(jù)客戶需求進行定制
定制信息

PAPL系列C5型壓電預壓致動器,開環(huán)版本

型號

說明

PAPL-C5-18N

C5型壓電陶瓷預壓致動器,有效行程18μm,開環(huán)

PAPL-C5-36N

C5型壓電陶瓷預壓致動器,有效行程36μm,開環(huán)

PAPL-C5-54N

C5型壓電陶瓷預壓致動器,有效行程54μm,開環(huán)

PAPL-C5-60N

C5型壓電陶瓷預壓致動器,有效行程60μm,開環(huán)

PAPL-C5-90N

C5型壓電陶瓷預壓致動器,有效行程90μm,開環(huán)

PAPL-C5-108N

C5型壓電陶瓷預壓致動器,有效行程108μm,開環(huán)

 

PAPL系列C5型壓電預壓致動器,應變片閉環(huán)版本

型號

說明

PAPL-C5-18S

C5型壓電陶瓷預壓致動器,有效行程18μm,應變片閉環(huán)

PAPL-C5-36S

C5型壓電陶瓷預壓致動器,有效行程36μm,應變片閉環(huán)

PAPL-C5-54S

C5型壓電陶瓷預壓致動器,有效行程54μm,應變片閉環(huán)

PAPL-C5-60S

C5型壓電陶瓷預壓致動器,有效行程60μm,應變片閉環(huán)

PAPL-C5-90S

C5型壓電陶瓷預壓致動器,有效行程90μm,應變片閉環(huán)

PAPL-C5-108S

C5型壓電陶瓷預壓致動器,有效行程108μm,應變片閉環(huán)

 

PAPL系列C5型壓電預壓致動器,開環(huán)、真空兼容版本

型號

說明

PAPL-C5-18NU

C5型壓電陶瓷預壓致動器,有效行程18μm,開環(huán),真空兼容至10??Pa

PAPL-C5-36NU

C5型壓電陶瓷預壓致動器,有效行程36μm,開環(huán),真空兼容至10??Pa

PAPL-C5-54NU

C5型壓電陶瓷預壓致動器,有效行程54μm,開環(huán),真空兼容至10??Pa

PAPL-C5-60NU

C5型壓電陶瓷預壓致動器,有效行程72μm,開環(huán),真空兼容至10??Pa

PAPL-C5-90NU

C5型壓電陶瓷預壓致動器,有效行程90μm,開環(huán),真空兼容至10??Pa

PAPL-C5-108NU

C5型壓電陶瓷預壓致動器,有效行程108μm,開環(huán),真空兼容至10??Pa

 

PAPL系列C5型壓電預壓致動器,應變片閉環(huán)、真空兼容版本

型號

說明

PAPL-C5-18SU

C5型壓電陶瓷預壓致動器,有效行程18μm,應變片閉環(huán),真空兼容至10??Pa

PAPL-C5-36SU

C5型壓電陶瓷預壓致動器,有效行程36μm,應變片閉環(huán),真空兼容至10??Pa

PAPL-C5-54SU

C5型壓電陶瓷預壓致動器,有效行程54μm,應變片閉環(huán),真空兼容至10??Pa

PAPL-C5-60SU

C5型壓電陶瓷預壓致動器,有效行程72μm,應變片閉環(huán),真空兼容至10??Pa

PAPL-C5-90SU

C5型壓電陶瓷預壓致動器,有效行程90μm,應變片閉環(huán),真空兼容至10??Pa

PAPL-C5-108SU

C5型壓電陶瓷預壓致動器,有效行程108μm,應變片閉環(huán),真空兼容至10??Pa

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