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上海隱冠半導(dǎo)體技術(shù)有限公司

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產(chǎn)品中心詳情頁2
C7系列壓電預(yù)壓致動器
C7系列壓電預(yù)壓致動器
C7系列壓電預(yù)壓致動器
主要特點(diǎn)

  • 2000N推力
  • 10億次使用壽命的壓電陶瓷
  • 亞納米級分辨率
  • 結(jié)構(gòu)簡單,體積小巧 
  • 適用10??Pa及以下高真空環(huán)境
  • 集成球形端頭

產(chǎn)品資料下載
主要應(yīng)用
  • 靜態(tài)和動態(tài)精密定位
  • 光纖定位調(diào)節(jié)
  • 激光調(diào)諧    
  • 微納技術(shù)
性能簡介

預(yù)壓致動器是一種壓電陶瓷疊堆的鎧裝設(shè)備,起到保護(hù)疊堆和方便安裝的作用,同時預(yù)壓致動器內(nèi)部對壓電陶瓷施加了預(yù)壓力,可提供一定的拉力和對位移輸出的調(diào)節(jié)。預(yù)壓致動器可內(nèi)部集成應(yīng)變片實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制。

機(jī)械尺寸圖

默認(rèn)輸出端為球頭,可定制其他輸出端結(jié)構(gòu)。

技術(shù)參數(shù)
<<<左滑查看更多參數(shù)

 

單位

公差

PAPL-C7-18N

PAPL-C7-36N

PAPL-C7-54N

PAPL-C7-72N

PAPL-C7-90N

PAPL-C7-108N

PAPL-C7-180N

行程@150V*

μm

±20%

18

36

54

72

90

108

180

電容**

μF

±20%

3

6

9

12

15

18

30

開環(huán)分辨率

nm

典型值

0.18

0.36

0.54

0.72

0.9

1.08

1.8

集成傳感器***

 

 

SGS

SGS

SGS

SGS

SGS

SGS

SGS

閉環(huán)分辨率***

nm

典型值

0.36

0.72

1.08

1.44

1.8

2.16

3.6

諧振頻率

kHz

±20%

22

17.5

15

13

11

10

4.5

剛度

N/μm

±20%

225

107

75

57

44

38

10

推力****

N

最大值

2000

2000

2000

2000

2000

2000

2000

拉力

N

最大值

150

150

150

150

150

150

150

工作電壓

V

 

-20~150

-20~150

-20~150

-20~150

-20~150

-20~150

-20~150

工作溫度范圍

°C

 

-20~80

-20~80

-20~80

-20~80

-20~80

-20~80

-20~80

電壓接口

   

LEMO FFA.00.250

傳感器接口

   

LEMO FFA.0S.304

線長

m

±0.02m

1.5

1.5

1.5

1.5

1.5

1.5

1.5

* 空載下位移輸出
** 電容測試條件:常溫環(huán)境,1Vpp,1kHz
*** 閉環(huán)參數(shù)只適用閉環(huán)版本的壓電預(yù)壓致動器
**** 推力測試:驅(qū)動電壓0~150V
其他規(guī)格可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制
定制信息

PAPL系列C7型壓電預(yù)壓致動器,開環(huán)版本

型號

說明

PAPL-C7-18N

C7型壓電預(yù)壓致動器,有效行程18μm,開環(huán)

PAPL-C7-36N

C7型壓電預(yù)壓致動器,有效行程36μm,開環(huán)

PAPL-C7-54N

C7型壓電預(yù)壓致動器,有效行程54μm,開環(huán)

PAPL-C7-60N

C7型壓電預(yù)壓致動器,有效行程60μm,開環(huán)

PAPL-C7-90N

C7型壓電預(yù)壓致動器,有效行程90μm,開環(huán)

PAPL-C7-108N

C7型壓電預(yù)壓致動器,有效行程108μm,開環(huán)

PAPL-C7-180N

C7型壓電預(yù)壓致動器,有效行程180μm,開環(huán)

 

PAPL系列C7型壓電預(yù)壓致動器,應(yīng)變片閉環(huán)版本

型號

說明

PAPL-C7-18S

C7型壓電預(yù)壓致動器,有效行程18μm,應(yīng)變片閉環(huán)

PAPL-C7-36S

C7型壓電預(yù)壓致動器,有效行程36μm,應(yīng)變片閉環(huán)

PAPL-C7-54S

C7型壓電預(yù)壓致動器,有效行程54μm,應(yīng)變片閉環(huán)

PAPL-C7-60S

C7型壓電預(yù)壓致動器,有效行程60μm,應(yīng)變片閉環(huán)

PAPL-C7-90S

C7型壓電預(yù)壓致動器,有效行程90μm,應(yīng)變片閉環(huán)

PAPL-C7-108S

C7型壓電預(yù)壓致動器,有效行程108μm,應(yīng)變片閉環(huán)

PAPL-C7-180S

C7型壓電預(yù)壓致動器,有效行程180μm,應(yīng)變片閉環(huán)

 

PAPL系列C7型壓電預(yù)壓致動器,開環(huán)、真空兼容版本

型號

說明

PAPL-C7-18NU

C7型壓電預(yù)壓致動器,有效行程18μm,開環(huán),真空兼容至10??Pa

PAPL-C7-36NU

C7型壓電預(yù)壓致動器,有效行程36μm,開環(huán),真空兼容至10??Pa

PAPL-C7-54NU

C7型壓電預(yù)壓致動器,有效行程54μm,開環(huán),真空兼容至10??Pa

PAPL-C7-60NU

C7型壓電預(yù)壓致動器,有效行程72μm,開環(huán),真空兼容至10??Pa

PAPL-C7-90NU

C7型壓電預(yù)壓致動器,有效行程90μm,開環(huán),真空兼容至10??Pa

PAPL-C7-108NU

C7型壓電預(yù)壓致動器,有效行程108μm,開環(huán),真空兼容至10??Pa

PAPL-C7-180NU

C7型壓電預(yù)壓致動器,有效行程180μm,開環(huán),真空兼容至10??Pa

 

PAPL系列C7型壓電預(yù)壓致動器,應(yīng)變片閉環(huán)、真空兼容版本

型號

說明

PAPL-C7-18SU

C7型壓電預(yù)壓致動器,有效行程18μm,應(yīng)變片閉環(huán),真空兼容至10??Pa

PAPL-C7-36SU

C7型壓電預(yù)壓致動器,有效行程36μm,應(yīng)變片閉環(huán),真空兼容至10??Pa

PAPL-C7-54SU

C7型壓電預(yù)壓致動器,有效行程54μm,應(yīng)變片閉環(huán),真空兼容至10??Pa

PAPL-C7-60SU

C7型壓電預(yù)壓致動器,有效行程72μm,應(yīng)變片閉環(huán),真空兼容至10??Pa

PAPL-C7-90SU

C7型壓電預(yù)壓致動器,有效行程90μm,應(yīng)變片閉環(huán),真空兼容至10??Pa

PAPL-C7-108SU

C7型壓電預(yù)壓致動器,有效行程108μm,應(yīng)變片閉環(huán),真空兼容至10??Pa

PAPL-C7-180SU

C7型壓電預(yù)壓致動器,有效行程180μm,應(yīng)變片閉環(huán),真空兼容至10??Pa

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