HS1000復(fù)合式多軸精密位移系統(tǒng)
HS1000復(fù)合式多軸精密位移系統(tǒng)
- X、Y1/Y2、Z、T五軸
- 機(jī)械導(dǎo)軌與氣浮導(dǎo)軌的復(fù)合應(yīng)用
- 360°無(wú)限制旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，無(wú)管路纏繞
- 支持12'、8'、6'多種規(guī)格晶圓吸附
- 行程：
320 mm（X軸）
550 mm（Y1/Y2）
10 mm（Z軸，可定制）
- 雙向重復(fù)精度：
±0.4μm（X、Y軸）
±0.3μm/2 mm & ±1μm over range（Z軸）
±2 arcsec（T軸）
- 垂向磁懸浮重力補(bǔ)償
- 最大支持轉(zhuǎn)速150rpm
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