微步式驅(qū)動(dòng)原理實(shí)現(xiàn)納米級(jí)精度和高驅(qū)動(dòng)力
陶瓷微步電機(jī)是一種新型仿生式壓電執(zhí)行器,通過多組多維度壓電執(zhí)行器單元按照步進(jìn)式的多組動(dòng)作邏輯進(jìn)行驅(qū)動(dòng),實(shí)現(xiàn)對(duì)電機(jī)動(dòng)子的直線驅(qū)動(dòng)。其主要特點(diǎn)是體積小、驅(qū)動(dòng)力大;在靜態(tài)下可以保持高夾持力,且無熱功耗；可以將單步實(shí)現(xiàn)高細(xì)分,實(shí)現(xiàn)納米級(jí)高分辨率:步進(jìn)式運(yùn)動(dòng)方式,可以實(shí)現(xiàn)毫米級(jí)大運(yùn)動(dòng)行程。
選配增量式光柵尺實(shí)現(xiàn)高精度定位
非接觸式光柵尺可以直接檢測(cè)運(yùn)動(dòng)臺(tái)面的位移,最大程度避免了間接位移檢測(cè)帶來的位置誤差。
適合復(fù)雜真空環(huán)境應(yīng)用
陶瓷微步電機(jī)可選配真空版本。電機(jī)靜態(tài)下無熱功耗，不產(chǎn)生磁場(chǎng)。
*實(shí)際運(yùn)動(dòng)速度取決于驅(qū)控電路功率
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單位 |
公差 |
PMNL-T23-ZT20A |
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運(yùn)動(dòng)軸 |
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Z |
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運(yùn)動(dòng)和定位 |
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Z軸運(yùn)動(dòng)行程 |
mm |
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±10 |
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rX軸運(yùn)動(dòng)行程 |
deg |
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±1.1 |
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rY軸運(yùn)動(dòng)行程 |
deg |
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±1 |
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傳感器 |
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線性光柵尺 |
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開環(huán)分辨率 |
nm |
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1 |
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傳感器分辨率 |
nm |
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5 |
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傳感器信號(hào) |
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AqB |
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Z軸單向重復(fù)精度 |
nm |
典型值 |
±50 |
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rX軸單向重復(fù)精度 |
典型值 |
±1.2 μrad (0.25 arcsec) |
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rY軸單向重復(fù)精度 |
典型值 |
±1 μrad (0.21 arcsec) |
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Z軸雙向重復(fù)精度 |
nm |
典型值 |
±100 |
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rX軸雙向重復(fù)精度 |
典型值 |
±2.4 μrad (0.5 arcsec) |
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rY軸雙向重復(fù)精度 |
典型值 |
±2 μrad (0.42 arcsec) |
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速度* |
mm/s |
最大值 |
1 |
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機(jī)械特性 |
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垂向驅(qū)動(dòng)力 |
N |
典型值 |
200 |
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垂向保持力 |
N |
最小值 |
300 |
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驅(qū)動(dòng)特性 |
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工作電壓 |
V |
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-250~250V |
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其他 |
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工作溫度范圍 |
°C |
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0~50 |
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材料 |
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鋁合金，不銹鋼 |
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電纜長度 |
m |
±0.02m |
1.5 |
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電機(jī)接口 |
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D-Sub25 公頭 |
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傳感器接口 |
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HD-Sub44 公頭 |
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外觀尺寸 |
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長 |
mm |
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240 |
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寬 |
mm |
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240 |
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高 |
mm |
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70~96 |
* 實(shí)際運(yùn)動(dòng)速度取決于驅(qū)控電路功率
