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上海隱冠半導(dǎo)體技術(shù)有限公司

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產(chǎn)品中心詳情頁2
PMNL-A02微步位移臺
PMNL-A02微步位移臺
PMNL-A02微步位移臺
主要特點

  • 高驅(qū)動力
  • 納米精度
  • 高靜態(tài)保持力
  • 大行程范圍
  • 高分辨率
  • 應(yīng)用高真空環(huán)境
  • 應(yīng)用無磁環(huán)境

產(chǎn)品資料下載
主要應(yīng)用
  • 鏡頭精密調(diào)節(jié)
  • 精密半導(dǎo)體設(shè)備
  • 精密電子顯微鏡調(diào)節(jié)
  • 精密醫(yī)學(xué)檢測設(shè)備
  • 無磁環(huán)境
  • 真空無發(fā)熱環(huán)境
性能簡介

壓電微步運動臺是基于陶瓷微步電機的運動平臺,通過陶瓷電機的步進式驅(qū)動方式實現(xiàn)對運動軸臺面的直線驅(qū)動。微步運動臺體積小、驅(qū)動力大;在靜止狀態(tài)下可以保持高保持力,無熱功耗,無磁泄露;具有毫米級大運動行程和納米級高分辨率。

機械尺寸圖

技術(shù)參數(shù)
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單位

公差

PMNL-A02-20

運動軸

   

X

運動和定位

運動行程

mm

 

20

模擬量模式下行程

μm

 

±2

傳感器

   

-

開環(huán)分辨率

nm

 

1

閉環(huán)分辨率

nm

 

-

速度

mm/s

最大值

0.6

最大驅(qū)動頻率

Hz

±20%

150

機械特性

驅(qū)動力

N

最大值

20

保持力

N

最小值

30

驅(qū)動特性

工作電壓

V

 

-250~+250

其他

工作溫度范圍

°C

 

0~55

材料

   

不銹鋼,鈦合金

質(zhì)量

g

±5%

255

電纜長度

m

±0.05m

2

電機接口

   

Sub-D15 公頭

 

 

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